第七百二十四章 調試測驗

光刻機需要工作在超高無塵環境下，剛剛組裝完成的測試樣機正在無塵車間內安裝調試。劉焱換了一身白色防塵服，戴上防塵帽，通過風淋間進入無塵車間。

此時是上午十點左右，處於每天的早班時間，晶圓工廠的四條晶片生產線正在全力運作，數千名工人，正在生產線上，有條不紊的工作。走過生產區域，進入測試區域，以姜安平為首的幾十名研究人員，正圍在一台一人多高的設備，做最後的調試，旁邊還有幾名維創電子公司的高管站在那裏圍觀。

劉焱湊上前去，朝研發二部部長烏光輝問道：

“這台就是光刻機研發實驗室製作出的第一台光刻機嗎？什麼時候能開始光刻測試？”

聽到有人提問，陽威力、金小雅等人同時轉頭看過來，見是老闆劉焱，紛紛打招呼問好，烏光輝出聲給劉焱解釋道：

“對，就是這台機器，昨天組裝完成之後，第一時間就從研發大樓搬運到了無塵車間，經過一天一夜的安裝調試，現在已經差不多可以開始了。”

劉焱滿意的點點頭，圍着光刻機轉了一圈，這台設備為全封閉結構，就像一個四四方方的鐵皮文件櫃，外殼噴塗成了乳白色，左右兩側，設置有矽晶圓入口和出口，靠外一側安裝着一個控制面板和一台大屁股顯示器。

劉焱有些疑惑的問道：

“看外表，我們這台光刻機似乎和J能、N康的光刻機都不太一樣，這是對外殼進行了優化嗎？”

烏光輝搖搖頭之後說道：

“我們不光優化了外殼，同時也優化了部分內部結構。

老闆你提供的資料里不是有一部分0.5微米光刻機的預研資料嗎，姜教授他們研發一微米光刻機的時候，參考了0.5微米光刻機的內部結構，對設計圖進行了一些更改優化。

從理論上來說，這些優化對晶圓的加工速度和加工精度，應該都有所提升，實際情況如何，還需要測試過後才知道。”

姜安平等人又忙活了半個多小時，光刻機終於調試完成，將提前準備好的掩膜版固定到掩膜版工作枱上。陽威力通過對講機溝通，讓一位名為柏巧玲的女工，送來了幾十片已經塗好光刻膠的矽晶圓。

姜安平親自動手，將矽晶圓安置到光刻機晶圓入口處的支架上，然後按下操作面板上的啟動按鈕。

光刻機內部傳出細微的機械轉動聲音，一張矽晶圓被機械臂送進光刻機內部，在深色玻璃觀察窗上，亮起一抹深邃的紫色光芒，開始對矽晶圓進行加工。

見狀，劉焱出聲詢問道：

“這台光刻機使用的是哪種光源，是高壓汞燈產生的436nmg-line和365nmi-line，還是248nm的KrF準分子激光作為光源？”

烏光輝回答道：

“現在使用的是高壓汞燈產生的365nmi-line作為光刻光源，理論上，這種光源能一直將光刻機的加工精度提升到0.35微米，作為未來一兩代光刻機的光源足夠使用了。

準分子激光光源，是下一代光刻機光源技術，咱們研發部已經立項開始研發，但這種技術在世界範圍內，也是最前沿研發項目，開發難度非常高，不是短期內能攻克的。”

這台新研製的光刻機的加工速度還是很快的，即使是初次測試，柏巧玲拿來的幾十片矽晶圓也在二分鐘內，全部完成了光刻加工。

這些光滑如鏡的矽晶圓上，多了很多方塊狀的紋路。測試用的掩膜版，是晶圓工廠正在生產的ARM1晶片掩膜版，其複雜程度和尺寸大小，是晶圓工廠出產的所有晶片之最。

按照原本的計劃，第一次光刻測試，應該選用最為簡單的單片機晶片作為加工目標，這樣一來，就可以從易到難，逐步查漏補缺，將光刻機修改完善。但姜安平和幾個主要研發人員，對光刻機測試樣機非常有信心，直接上了最大難度，也是需求量最大的ARM1晶片。

維創電子公司推出的第二代遊戲掌機上市之後，立刻受到電玩愛好者的熱捧，僅僅上市半個多月，就售出了300萬台。隨機配送的和兩款遊戲，在畫面、音效、遊戲可玩性上，碾壓市面上的所有遊戲。遊戲掌機熱銷，作為主控晶片的ARM1需求量大增，可是產品合格率始終徘徊在60%~70%之間，提升速度非常緩慢。

經過蒙小剛、姜安平，幾個相關領域的專家研究分析，認為ARM1合格率過低的原因恰恰是光刻機精準度不達標造成的。晶圓工廠內的這幾條晶片生產線畢竟是使用了一二十年的設備，能正常生產晶片就不錯了，想要苛求加工參數完全達標，幾乎不可能。其中影響最大的，就是作為核心設備的光刻機。

姜安平親自動手，使用專用夾具，將光刻完的幾十片矽晶圓裝進專用容器，拿去晶片生產線那邊，去進行後續的刻蝕、離子注入、薄膜沉積、化學機械研磨等步驟。

兩個多小時之後，所有工序走完，幾十片矽晶圓，變成了一千多枚封裝完成的ARM1晶片。劉焱、烏光輝、姜安平等高管和研發人員，開始動手對這批晶片進行全面測試。

半小時后，所有晶片測試完成，姜安平對測試結果進行了匯總，最後宣佈道：

“此次我們自主研發的一微米光刻機測試，共選用了35片矽晶圓，加工過後，切割封裝成1750枚晶片。

經過全面測試，合格產品共1203枚，合格率為68.7%。

也就是說，咱們光刻機研發實驗室生產的第一台一微米光刻機，第一次開機測試生產，就成功了，並且合格率已經達到了晶圓工廠內現有幾台J能和N康光刻機的加工水平。”

聽完姜安平的發言，劉焱帶頭鼓掌，其他維創電子告訴的高管和研發人員，以及其他負責封裝測試的員工緊隨其後，現場爆發出一陣熱烈的掌聲。

在場觀摩的維創電子公司員工們都在七嘴八舌的討論着：