四百四十七 完美的閉環
戀上你看書網,致富從1978開始
等林本建出來,三人邊吃邊聊,衛向東正式向林本建發出邀請,希望他到大陸繼續研究紫外光光刻,將來在眾芯科技專門成立一個部門由他負責,同樣可以給予眾芯科技的股份。
“林先生,如果你還有什麼要求,我們都可以談。”衛向東的態度很誠懇。
林本建沉默了下開口說道:“衛先生,或許你不清楚,研發13.4納米的極紫外光遙不可及而且耗費巨大,現在光刻機還卡在193納米這個這個階段。”
“我知道,極紫外光是光刻機發展的未來,而193納米這道坎終將會被邁過。”衛向東笑回答道。
林本建聽了笑了起來:“衛先生,你是個局外人,竟然比我們這些局內人還充滿自信?”
“或許正是因為我是個局外人,所以和你看問題角度不同,光刻機停留在193納米已經好幾年了吧?所謂厚積薄發該到突破的時候。不是有一種叫什麼浸潤式光刻嗎?我看那個法子就行。”衛向東說道。
“浸潤式光刻?衛先生你也認為浸潤式可行?!”林本建的聲音突然變得激動起來。
不是我認為行,是因為歷史最後證明這個法子行!
衛向東實在不明白這個林本建為何如此激動,旁邊的張如京才告訴他,在80年代末期,林本建就提出隨着晶片精度越來越高,光刻機的精度最終會遇到瓶頸,可以用浸潤式原理解決這個問題。
不過當時業界正要準備1000納米的量產,後來林本建又幫ibm解決兩個世代以後的技術,也就是500納米;那時還有很多方法可用,不需要浸潤式這種頗為複雜的辦法。
直到九十年代初期,光刻機的研發卡到了193納米,包括ibm、佳能等大型公司,都是朝着研發乾式157nm光刻機的道路奮力前進,根本沒有理睬到林本建的這個冷門的浸潤式!這讓他很是沮喪。
所以,今天從一個外行嘴裏說出看好浸潤時,林本建感到有些激動。
“衛先生,你怎麼認為浸潤式辦法可行,如何液體穿透率不高問題?”
面對林本建急切的發問,衛向東愣住了。
我懂個屁啊......
我只不過是穿越前在網上無聊時候看過一些這樣的文章,知道幾個術語而已何況又過去了這麼多年?
哎.....
早知道做做功課,在網上查查這方面的資料就好了,這不又到了2000年嗎?已經有網了。
衛向東心裏暗暗後悔。
看到衛向東略微尷尬的表情,林本建這才意識到,對方只是個企業家,科技方面純粹就是個門外漢!”
沒準這個浸潤式也不知道從哪裏看到的資料,覺得好玩而已。
林本建頓時有些失望,剛準備結束這個話題,突然又聽到衛向東蹦出一句話:“可以用水呀......水不是很透明嗎?”
“用水?水在193納米波長的折射率是得到,但問題在於157納米波長下水的折射率是量不出來的,因為不透光......”林本建立刻反駁。
“為啥非要用157納米?那就用193納米下的折光唄。”衛向東小心翼翼回答道。
“你不懂,現在的主流是157納米......”林本建隨口回答了一句。
“林先生,你忽略了一點,水的折射率在一般的波長是1.3多。所以在一般波長下用水做浸潤式的介質只能改進30%多,但若改成現在可用的最短波長193納米,的折射率特性,水能把解像度增加46%,”
張如京突然插話進來,他是搞晶片製造的,當然對光刻機熟悉的再也不能熟悉,現在聽到兩人的對話,心裏頓時有了啟發,插話進來。
“嗯?”
張如京的話,讓林本建一愣,思索了一陣突然叫道:“對呀.....我幹嘛學他們一樣死攻157納米?”
“157納米只比193納米短23%,換句話說,只能把解像度提高23%,用193納米加水可以提高46%,幾乎是兩倍。因為波長只在水中變短為132納米。光在進入水前的波長是193納米,可以避開所有157納米的困難,能改進46%!”
林本建越說越興奮,猛然站了起來:“兩位失陪了,我現在要去公司驗證我的想法!”說完匆匆走了出去。
呵?
“衛先生,搞科研都是這樣的怪人,你不必在意。”張如京笑着解釋道:“我也跟着過去看看,沒準能幫上他的忙。”
“怎麼會呢....”衛向東笑道:“張總,那我就不打攪你,林工的事,那就多靠你費心了。”
“放心吧.....你來這一趟點醒了他,咱們的把握就更大。”張如京說著也匆匆走了出去。
看着兩人消失的背影,衛向東這次長長舒了口氣,開始大口大口啃起漢堡包。
嗯.....味道不錯嘛。
這一刻他突然感到這平時最難吃的快餐竟然很香。
還有....外面的景色也很迷人嘛.....
兩個月後,林本建關掉自己的在坦帕市的公司,告別妻子獨自踏上回國的道路。
衛向東立刻任命他為眾芯科技光刻機研發中心主任,注資三個億,並且承諾將原屬於衛曹控股在眾芯科技股份里撥讓3%給他,並擔任眾芯科技的董事。
為此,在有名的外灘華爾道夫酒店擺了一桌給林本建接風洗塵,陪同的除了張如京和眾芯科技的技術骨幹,還有聯海微電子的倪光南、弗拉基米、唐俊。
大家都搞晶片的雖然側重點不同,但還是很談得來,一個個談笑風生說著各種衛向東聽不懂的術語。
唐俊雖然也是搞技術出身,但現在主要是從事行政管理,和這幫技術大佬相比顯得有些遜色,剛好和衛向東竊竊私語。
“衛董,你這一招厲害呀,你看看,聯海研發cpu晶片,而眾芯製造晶片,而林工研發製造晶片的光刻機,完美的閉環啊,來,我敬你一杯!”
聽到唐俊略帶奉承的話,衛向東也沒客氣舉起酒杯。
唐俊喝完酒繼續說道:“不過,你這一招,估計又有人難受了。呵呵”
“你說的是章中謀吧?”衛向東微微一笑。
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