第五十一章 圓筒式刻蝕機

當初凌世哲建立半導體工藝實驗室的時候，為了讓學校的教授研究上的方便，專門開闢了兩層樓作為教授和工程師的辦公區，每個教授和工程師都有一間屬於自己的辦公室，辦公室裏面還有休息室，累了可以休息。除此以外還有4間職工休息室，職工休息室就沒有教授工程師的辦公室那麼好了，都是集體休息室，幾個長椅、一張大號鐵桌、一個工具櫃了事。跟工廠員工休息室沒什麼區別，員工和大學學生各分兩間，全都挨着都在教授休息樓的下面一層。

王海華和凌世哲來到教授辦公區樓層，但他沒有帶凌世哲去他的辦公室，而是去了會議室，同來得還有克里斯托弗、邱明和其他十餘名工程師以及九名來自香港大學和理工大學的教授。

這是一間大會議室，可同時容納200人開會，會議室佈置的並不奢華，但科技感十足，以凌世哲後世幾十年的眼光來看，都不顯老土。

大家進了會議室后，分成兩邊坐下，凌世哲坐在主位上，左手邊是香港和理工大學的教授，右手邊是安布雷拉的工程師。

在亞洲更應該說是中國講究左為尊，西方國家是右為尊；安布雷拉公司的工程師西方人較多，自然坐在了他的右手方，教授們中國人較多，坐在了他的左手方。看着他們自動的分好了座位，凌世哲也感到省心，這樣一來雙方都體現了尊重，不會有被輕視的感覺。

幾名大學學生忙着給大家端茶倒水。這幾個學生顯然都是新手，沒有做過端茶送水的話，狀況不斷。

“嗨，我要的是茶，不是咖啡，你拿錯了。”

“我要的是英國茶，不是中國茶。”

“我要的是拿鐵，不是卡布其若，給我換一杯去，笨蛋！”一名教授怒了。

“哦，上帝，我要的咖啡是不加牛奶的，是純咖啡，而你給我的是白咖啡，還有，我要的是三又四分之三顆糖，不是四顆，你給加了四顆糖，換一杯去，菜鳥。”一名來自安布雷拉公司的工程師說道。

“我要的是英式檸檬茶，不是美式薄荷茶！”

……

“你又搞錯了，我要的是龍井，不是茉莉花。”

“我要的是茉莉花，你給我雀舌幹嘛，那是顧教授的，給他端過去，，把我的茉莉花拿來。”

看着這幫手忙腳亂，狀況不斷的大學新生，凌世哲突然笑了起來，想起了自己當初剛剛穿越時，剛進大學時的情景，表現得跟個他們沒什麼區別，一樣的菜。

可能大家看到這一幕會大罵，靠，這幫老頭也太挑了吧，要喝茶的給他茶，要咖啡的給他咖啡，什麼加奶不加奶，什麼純咖啡、龍井、雀舌，那麼挑幹嘛？都一樣的咖啡或茶不行嗎？

其實香港的各個大學非常重視對學生的實踐能力的培養，端茶送水就是最基本的實踐之一。以茶水為例，現實生活中人們飲食習慣各不相同，有的愛喝咖啡，有的愛喝茶。咖啡跟茶都有好多的分類，個人的喜好又不一樣，需求不一樣，有的人甚至有特殊的癖好。

讓那些學生通過端茶送水的實踐，可以幫助他們認識人與人之間的不同，鍛煉他們的臨場反應發揮，瞬間記憶力，協同合作、組織安排等，通過這種鍛煉，讓他們建立起對生活和工作中的自信。

因為大學是人生中最後的象牙塔，是人們踏入社會的預備站，在學校讀書的學生還可以看做是娃娃，大家對你的錯誤可以包容原諒，而一旦踏入社會就不一樣了，大家不會把你當娃娃看，一旦犯錯，輕則被罵，重則被炒魷魚，甚至有時候還會吃官司。

這裏是香港，生活工作壓力巨大，如果你不能適應，就會被無情的被淘汰。

適者生存是香港的生存手冊，如同空氣一樣，充實在香港的方方面面。正是於此，香港的各個大學非常重視學生的社會實踐，他們可不想培養出的學生都是些智商極高，情商低得讓人無語得社會低能兒。

“喝喝，卡姆，你過了哈。”凌世哲提醒自己的一名工程師。

卡姆是意大利人，哈哈大笑說道：“boss，這太有意思了，看到那幫學生出醜的樣子，我就想笑，這讓我想起了年輕的時候。”

另一邊一名來自理工大學的教授說道：“沒有關係的凌少，你們得工程師做得很好，這樣可以讓這幫菜鳥得到儘可能的鍛煉，這對他們日後踏入社會在工作和生活上都有很大的好處。”

一名安布雷拉的工程師說道：“boss，剛開始的時候我們也不是這樣的，我們沒這麼挑剔，自從明白教授們對學生們故意“刁難”的目的后，我們才加入其中跟着“刁難”他們的，香港的大學對學生得培養方式非常的有意思，通過這種特殊得培養方式培養出的學生，他們都非常的自信和獨立。”

其他的工程師都跟着點了點頭。這種方式是香港的大學所特有，其他地方是沒有的，學生通過這種實踐的鍛煉后，做事乾淨利落、條理分明、忙而有序，遇事不慌忙急躁，知道先幹什麼，然後再幹什麼。其他地方和國家的大學都有不同的方法來鍛煉學生的獨立和自信，但香港的方法最特殊，他集合了東方和西方大學的一些優秀經驗，走出一條自己的路。

那幾個學生從剛開始一番手忙腳亂之後，慢慢得開始變得有了些章法了，最後終於把所有人的茶水跟咖啡都準確無比的端給了大家，他們才退了出去，走時還把會議室的門不忘關上。

人全部走了以後，王海華才把凌世哲交給他的資料袋打開，不出他所料裏面是好幾張曬製圖和一些技術資料。把資料依次分給了其他教授和工程師，他自己把晒圖紙攤開在會議桌上，從衣兜里拿出眼鏡盒打開，取出老花鏡戴上，向曬製圖看去，旁邊邱明和克里斯托福以及兩個教授和一名安布雷拉的工程師也走了過來，一起向這章晒圖紙看去。

圖紙上左下角數據欄寫着圓筒式等離子處理系統。

自從上次他們告訴凌世哲電耦合等離子體刻蝕系統無法短時間搞出來后，凌世哲這些天查了好多資料，終於找出了一套替代方案。

半導體歷史上對矽片的刻蝕在77年以前都是採用的化學濕法腐蝕技術工藝，這種技術是利用乙酸或h2o緩衝的hf/hno3溶液與薄膜建所進行的化學反應，來去除薄膜未被光刻膠覆蓋的部分來到達刻蝕目的，這種刻蝕方法又叫濕法刻蝕技術，是一種純化學刻蝕。

後來隨着半導體技術的進步，濕法刻蝕技術走到了鏡頭，開始進入干法刻蝕。它不使用液體，是利用等離子體或高能粒子束轟擊的方式來對晶片進行刻蝕。

桶式刻蝕機是最早的刻蝕機，也是最簡單的刻蝕機。凌世哲設計得圓筒式刻蝕系統是在桶式刻蝕機上改進而來的，它採用一款通用的真空處理艙及機箱，是一款滿足等離子去膠，清除浮渣，各向同性和各向同性蝕，採用高模塊化裝配設計、多功能真空艙體－電極設計、結構緊湊，具有自動化工藝程序的等離子體刻蝕設備。

凌世哲就是要用這個套裝置來代替icp刻蝕機，這套系統的刻蝕尺寸極限是0.5微米；按照現在的半導體技術發展速度，這套設備使用達到極限后，icp刻蝕機已經完全可以進入使用階段了，到時候就可以跟圓筒式刻蝕機進行交接，把它替換下來。

這樣他就不需要像原先的歷史那樣，頻繁的更換刻蝕機。這是他苦思了很久才想出來的一套解決方案。

良久以後，凌世哲問道：“如何，以現在的科技能不能把它造出來？”

邱明與眾人互相看了看，點了點頭，說道：“設計上沒什麼問題，只需要花些時間做幾個試驗找出最佳的數據值，明年三月份以前就可以定型投入使用了。”

要明年才能出來，凌世哲顯然對這個進度不滿意，說道：“給你們三個月時間能不能搞出來？”

卡姆搖頭說道：“很難，明年三月份都不一定能夠做出來，boss你看，你得這套系統是全自動化的，數控系統的開發就要花許多時間，如果要明年三月份出來，這還是在沒有重**ug的情況下，如果有重**ug，就不知道要花多少時間了。”

卡姆這麼一說凌世哲突然想到歷史上的mk800數控機床，這台機床是美國斯皮舍爾公司在七十年代末推出的，開發時間整整用了十年，然後隔了多少年來着，時間太過久遠凌世哲也記不住了，反正就是發現這台機床有重大問題，經過檢驗發現問題出在軟件上，斯皮舍爾公司花了幾年時間都沒有找出裏面的bug，後來一直到了90年代才把這個bug給找出來，它隱藏之深可見一斑；可惜的是這台機床的bug不止一處，而是好幾處，全都是重大的bug，直達90年代末才全部解決。不過那個時候斯皮舍爾公司早已經成為了歷史。

軟件出現問題要解決起來相當的麻煩，軟件故障問題能否順利的解決，全部取決於你能否第一時間找出裏面的bug，如果你不能在最短的時間內找到，那麼你就慘了，特別是重**ug，你就怎麼都解決不了。找出了bug你才能解決問題，找不出你就洗白。

“不，應該不會出現這個問題，軟件出現這種問題一般都是內核結構設計上的不合理，其次是在程序編寫上有着嚴重失誤才會造成。你們看，boss的這套數控系統在機構上非常的簡單，用的cpu晶片是risc構架，硬件的設計上也沒有任何問題，這樣軟件的內核結構在設計上會簡單許多，排除了重**ug缺陷的可能，只要程式設計師在編寫時不出現重大的失誤，嚴重bug的可能就可以排除掉，就算有些小bug也不會有什麼影響。另外，我建議使用j**a2.0企業版編程語言來編寫它的程序，java優勢是適合團隊開發，軟件工程可以相對做到規範，可以用來開發可靠的、要求嚴格的應用程式，這是一個很難比擬的優勢。這樣可以最大限度的防止嚴重bug的出現，我們可以採用分組編寫的方式來編寫軟件代碼，這樣可以節約很多時間，軟件編寫完成後，在用程序檢測軟件來檢測它是否有漏洞，特別是重大漏洞。”安布雷拉公司的一名軟件工程師反駁道。

“risc構架的程序編寫量非常的龐大，我們的程式設計師完全不夠啊！”卡姆說道。

“我們可以找那些學生來編寫，只要程序上面不出現大問題，我們就可以在明年三月份之前完成。之後嘛，只需把軟件優化升級就行了。”王海華回答道。

大家你一言，我一言，計劃慢慢的完善起來，最後終於確定方案后，克里斯托弗對凌世哲說道：“boss，我們沒法在三個月以後拿出來，明年三月份拿出來，是最快得速度了，在快就會影響到那些學生的正常上課了，這套系統最花時間的就是程序的編寫和反覆的修改，risc結構的程序不像cisc構架，它雖然不複雜，但編寫程序的工作量且非常的龐大。”

凌世哲點了點頭，看來他還是急躁了，想早點把圓筒式刻蝕機用上去，濕法刻蝕工藝晶片廠先暫時用這吧，它的極限是4—5微米，還早呢。

討論完了以後，大家都紛紛走出會議室。

王海華沒有跟着大家一起走，而是叫住凌世哲來到他的辦公室。

二人在沙發上坐下，學生給二人上了茶后出去后，王海華說道：“小凌，一開始你就應該使用圓筒式刻蝕機方案，而不是用icp方案，雖然icp比圓筒式有着很大的優勢，但它也太複雜了，不是幾年時間就能搞出來的。”

王海華的話又微微責備的意思，他跟凌志高有很深的交情，凌世哲是晚輩，還得叫他一聲叔，在加上他也是從香港大學畢業的，念的是物理系，王海華又是物理系的主任，凌世哲算起來也還是他的學生，雖然沒有跟他上過一天課，所以他才敢說那些話。換成其他人是不敢這麼跟他說話的。

凌世哲苦笑的搖了搖頭，可不是嗎，當初要是先把圓筒式刻蝕機拿出來，現在早都進入工廠進行生產使用了，還是怪自己想一次性吃個大胖子，結果好了，吊起了。

“教授，你怎麼知道我早就有圓筒式刻蝕機方案的？”

“我怎麼會不知道？當初你在學校讀書的時候就在我的系，我對每一名學生都觀察過，雖然我沒有親自教過你，但我也了解你，什麼都想要最好的，開發新型陶瓷是那樣，電腦相機是那樣，你得這套新型工藝也是那樣，剛才看你拿出的那張圖，我一看就知道這不是一天兩天就能設計的出來。”

凌世哲沒有說話，這張圖和那些資料不是他設計的，而是他從後世帶過來的，謄寫下來的。

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